X 射線熒光分析技術(shù)（XRF）作為一種快速分析手段，一種可行的、低成本的、并且是及時(shí)的檢測、篩選和控制有害元素含量的有效途徑，由于具有分析快速、制樣簡單，準(zhǔn)確度高、對(duì)環(huán)境無污染等優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于各個(gè)領(lǐng)域，成為理化檢驗(yàn)不可或缺的設(shè)備；相對(duì)于其他分析方法（如發(fā)射光譜、吸收光譜、分光光度計(jì)、色譜質(zhì)譜等），XRF 具有無需對(duì)樣品進(jìn)行特別的化學(xué)處理、快速、方便、測量成本低等明顯優(yōu)勢(shì)，特別適合用于各類相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)作為過程控制和檢測使用。

1、XRF的分析特點(diǎn)
由于X射線熒光的能量比較大，樣品被激發(fā)后，產(chǎn)生的特征X射線極易被吸收，而從樣品中發(fā)射出來的熒光很少，也即是熒光產(chǎn)額很少。因此采用X熒光光譜儀測量微量元素，不是特長，因此不要把精力過分地放在低含量元素分析上。同理，對(duì)于輕元素，如硼、碳、氮、氧等，也不要指望有多好的檢出限；但對(duì)于高含量的輕元素分析，卻有很高的精度。分析生鐵中3%左右的碳，標(biāo)準(zhǔn)偏差不超過0.1%；分析鉬鐵中60%左右的鉬，誤差不超過0.2%；分析硅石中90%左右的二氧化硅的含量，誤差不超過0.3%等。而對(duì)微量元素，鎂的檢量限，低于0.01%，峰幾乎沒有了；鈉，低于0.05%，峰也沒了，連強(qiáng)度都沒了還怎么測？由此說明X熒光光譜儀適合于高含量分析，而不適合微量元素的分析。

2、應(yīng)用范圍
幾乎任何樣品都可以用熒光分析，但不是全部元素，如:鐵礦石,沒必要分析其中的氟、硼等，測也測不準(zhǔn)，又如錳鐵合金，壓片測錳元素測不準(zhǔn)，可以測其它元素如硅、錳、磷等還是很準(zhǔn)的。又如螢石，你可能氟測不準(zhǔn)，但你可以測量元素其它元素。當(dāng)然以上都要進(jìn)行強(qiáng)度校正，如果系數(shù)過大，也可以采用參考濃度校正。

3、影響XRF分析性能的因素

儀器使用方法對(duì)XRF分析性能有影響。使用儀器需遵循廠商提供的說明書，但不能生搬硬套，要具體情況具體分析，否則有些操作會(huì)對(duì)儀器產(chǎn)生負(fù)面的影響。例如：1個(gè)3千瓦功率的儀器，在分析條件設(shè)置時(shí)，非要對(duì)輕元素采用30KV-100mA；而對(duì)重元素非要采用60KV-50mA的條件設(shè)置，致使儀器在極限條件下工作，如果是新儀器，這樣操作肯定會(huì)影響儀器的使用壽命，如果是老儀器，可能就要了儀器的老命了，其實(shí)我們就采用折中的方式就很好。

樣品對(duì)對(duì)XRF分析性能也有影響。如果對(duì)樣品不甚了解，請(qǐng)不要將未處理的樣品直接采用X熒光光譜分析，否則可能對(duì)儀器造成致命的傷害。例如樣品中含有揮發(fā)性酸，如鹽酸、醋酸（樣品夾雜測量中，樣品用酸處理，揮發(fā)不干凈）等，這些樣品一旦進(jìn)入儀器內(nèi)部在抽真空時(shí)，揮發(fā)到晶體、X光管、探測器等，都會(huì)都會(huì)造成致命的傷害；如果環(huán)境酸性物質(zhì)多，也同樣會(huì)造成儀器的損傷。樣品殘留水分也同樣有影響，樣品未經(jīng)過烘干處理，帶有水分進(jìn)入儀器，也會(huì)揮發(fā)，日積月累也會(huì)腐蝕儀器。

工作曲線對(duì)對(duì)XRF分析性能也有影響。一般來說輕元素對(duì)重元素的吸收是永恒的，至于增強(qiáng)就不一定了，所以建工作曲線時(shí)需考慮基體校正，可以使分析誤差更小，如果標(biāo)準(zhǔn)樣品量少，就不需要采用經(jīng)驗(yàn)系數(shù)法進(jìn)行全元素校正。